Огарёв-online

карбид кремния

• Влияние шероховатости поверхности на эффективность очистки пластин карбида кремния

  Опубликовано 29.10.2016 в 09:56
  Автор: Ивенин Станислав Васильевич,Кирдяшкин Николай Николаевич
  Ключевые слова: карбид кремния, мегазвуковая обработка, полировка, химическая очистка, Шероховатость, эффективность очистки
  Выпуск: Элементная база, аппаратные и программные средства технических систем - Выпуск 18

  Представлены результаты исследования влияния параметров шероховатости монокристаллических пластин карбида кремния на эффективность их очистки с помощью химической и мегазвуковой обработки. Показано, что эффективность очистки возрастает с увеличением качества полировки (с уменьшением значений параметров шероховатости).

• Влияние обработки поверхности пластин на скорость термического окисления карбида кремния

  Опубликовано 08.05.2015 в 23:18
  Автор: Евишев Алексей Владимирович,Ивенин Станислав Васильевич
  Ключевые слова: карбид кремния, механическая обработка, окисление, окисная пленка., Шероховатость
  Выпуск: Элементная база, аппаратные и программные средства технических систем - Выпуск 11

  Исследуется влияние качества обработки поверхности пластин 4H-SiC на скорость термического окисления карбида кремния в атмосфере сухого кислорода. Показано, что на поверхностях пластин с большей шероховатостью при прочих равных условиях образуется более толстая окисная пленка.

• Определение ширины запрещенной зоны в карбиде кремния оптическим методом

  Опубликовано 15.07.2014 в 13:27
  Автор: Евишев Алексей Владимирович,Ивенин Станислав Васильевич
  Ключевые слова: карбид кремния, коэффициент отражения, коэффициент поглощения, коэффициент пропускания, кристаллическая структура., ширина запрещенной зоны
  Выпуск: Элементная база, аппаратные и программные средства технических систем - Выпуск 22

  В статье проводятся результаты исследования ширины запрещенной зоны карбида кремния оптическим методом. Для его определения использовали спектрофотометр СФ-46. Образцы карбида кремния были разных политипов, имели разный тип проводимости, а также были получены разными методами (Лели и ЛЭТИ).

• Быстрое термическое окисление карбида кремния

  Опубликовано 14.01.2014 в 20:46
  Автор: Ивенин Станислав Васильевич,Крестьянсков Федор Юрьевич
  Ключевые слова: карбид кремния, нетермическая активация, нитрирование плёнки, плёнки SiO2, термическое окисление, фотонный нагрев
  Выпуск: Элементная база, аппаратные и программные средства технических систем - Выпуск 03

  В статье рассматриваются особенности процесса термического окисления карбида кремния, в частности, низкие темпы роста оксидной пленки на поверхности карбида кремния и обсуждаются способы быстрого окисления пластин карбида кремния