Опубликовано 29.10.2016 в 09:56
УДК: 621.79
Представлены результаты исследования влияния параметров шероховатости монокристаллических пластин карбида кремния на эффективность их очистки с помощью химической и мегазвуковой обработки. Показано, что эффективность очистки возрастает с увеличением качества полировки (с уменьшением значений параметров шероховатости).
SURFACE ROUGHNESS EFFECTS ON CLEANING EFFICIENCY OF SILICON CARBIDE WAFERS
The paper presents the study results of the effects of roughness parameters of single crystal silicon carbide wafers on the efficiency of their cleaning by chemical and megasonic processing. It is shown that the cleaning efficiency increases with the increasing of polishing quality, i.e. with the decreasing of roughness parameters.
Библиографический список
Библиографический список
1. Запорожский В. П., Лапшинов В. А. Обработка полупроводниковых материалов. – М.: Высш. шк., 1988. – 184 с.
2. Карбань В. И., Кой П., Рогов В. В., Хофман Х. Обработка полупроводниковых материалов / Под ред. Н. В. Новикова, В. Бертольди. – Киев: Наукова думка, 1982. – 236 с.
3. Бутурлин А. И., Голубская И. Э., Чистяков Ю. Д. Методы исследования и контроль чистоты поверхности. – М.: МИЭТ, 1989. – 315 с.
4. Емельянов В. А., Базанов В. В. Методы контроля параметров твердотельных структур СБИС. – Минск: Изд-во Бестпринт, 1992. – 58 с.
5. ГОСТ 2789-73 Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики. – М.: Стандартинформ, 2006. – 7 с.
6. ISO 4287:1997 Геометрические характеристики изделий (GPS). Структура поверхности. Профильный метод. Термины, определения и параметры структуры [Электронный ресурс]. – Режим доступа:http://www.iso.org/iso/ru/iso_catalogue/catalogue_tc/catalogue_detail.htm?csnumber=10132.
Выходные данные статьи: Ивенин С. В., Кирдяшкин Н. Н. Влияние шероховатости поверхности на эффективность очистки пластин карбида кремния [Электронный ресурс] // Огарев-online. – 2016. – №18. – Режим доступа: https://journal.mrsu.ru/arts/vliyanie-sheroxovatosti-poverxnosti-na-effektivnost-ochistki-plastin-karbida-kremniya