Огарёв-online

Шероховатость

• Влияние шероховатости поверхности на эффективность очистки пластин карбида кремния

  Опубликовано 29.10.2016 в 09:56
  Автор: Ивенин Станислав Васильевич,Кирдяшкин Николай Николаевич
  Ключевые слова: карбид кремния, мегазвуковая обработка, полировка, химическая очистка, Шероховатость, эффективность очистки
  Выпуск: Элементная база, аппаратные и программные средства технических систем - Выпуск 18

  Представлены результаты исследования влияния параметров шероховатости монокристаллических пластин карбида кремния на эффективность их очистки с помощью химической и мегазвуковой обработки. Показано, что эффективность очистки возрастает с увеличением качества полировки (с уменьшением значений параметров шероховатости).

• Влияние обработки поверхности пластин на скорость термического окисления карбида кремния

  Опубликовано 08.05.2015 в 23:18
  Автор: Евишев Алексей Владимирович,Ивенин Станислав Васильевич
  Ключевые слова: карбид кремния, механическая обработка, окисление, окисная пленка., Шероховатость
  Выпуск: Элементная база, аппаратные и программные средства технических систем - Выпуск 11

  Исследуется влияние качества обработки поверхности пластин 4H-SiC на скорость термического окисления карбида кремния в атмосфере сухого кислорода. Показано, что на поверхностях пластин с большей шероховатостью при прочих равных условиях образуется более толстая окисная пленка.

• Методы и средства оценки шероховатости поверхностей

  Опубликовано 19.12.2013 в 12:23
  Автор: Аркаев Денис Александрович
  Ключевые слова: измерения, машиностроение, приборы, продукция, точность, Шероховатость
  Выпуск: Машиностроение: наука и техника - Выпуск 14

  Шероховатость поверхности является одним из основных факторов, характеризующих качество поверхностного слоя металла, от показателя которого напрямую зависит долговечность использования конкретного изделия или детали. В статье рассматриваются различные методы и средства измерения шероховатости поверхностей, играющие важную роль на машиностроительных предприятиях.