Огарёв-online

сканирующая зондовая микроскопия

• Исследование структуры многослойных металлических покрытий на кремнии методами РЭМ и СЗМ

  Опубликовано 02.07.2014 в 22:03
  Автор: Горбунов Дмитрий Сергеевич,Мишкин Владимир Петрович,Нищев Константин Николаевич,Новопольцев Михаил Ильич,Ускова Елена Николаевна
  Ключевые слова: межэлементные соединения, многослойные металлические покрытия, растровая электронная микроскопия, силовые полупроводниковые приборы, сканирующая зондовая микроскопия, структура «кремний на молибдене»
  Выпуск: Математическое моделирование, комплексы программ и высокопроизводительные вычисления,Физика конденсированного состояния - Выпуск 19

  Методом химического травления, травления фокусированным ионным пучком, растровой электронной микроскопии и сканирующей зондовой микроскопии определена структура и элементный состав многослойных металлических покрытий, используемых в качестве переходного омического интерфейса в контактной системе структур мощных силовых полупроводниковых приборов. Исследуемые металлические покрытия наносились на поверхность кремниевых структур по технологии магнетронного напыления. Полученные результаты демонстрируют эффективность совместного применения методов … Прочесть целиком →