Использование технологии ALD для нанесения Al2O3 на поверхность электрохимически активированого алюминия

Опубликовано 31.10.2017 в 13:33
УДК: 544.6:54-31:546.62

Разработаны методики направленного синтеза и подобраны оптимальные условия формирования структур, состоящих из алюминия с заданной морфологией и толщиной. По данным растровой электронной микроскопии (РЭМ) и сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ), на поверхности Al в зависимости от условий получения формируется упорядоченная структура цилиндрических каналов, расположенных под углом 45° к подложке, а также пористые наноструктурированные слои с гексагональным расположением пор.

THE USE OF ALD METHOD FOR DEPOSITION OF Al2O3 ON THE SURFACE OF ELECTROCHEMICALLY ACTIVATED ALUMINIUM

The methods of directed synthesis have been developed and the optimal conditions for the formation of structures consisting of aluminum with a given morphology and thickness have been selected. According to the data of scanning electron microscopy (SEM) and scanning probe microscopy (SPM), an ordered structure of cylindrical channels located at an angle of 45° to the substrate, as well as porous nanostructured layers with a hexagonal arrangement of pores, is formed on the Al surface, depending on the production conditions.

Библиографический список
Выходные данные статьи: Мишкин В. П., Соловьева Е. А., Тарасова О. В., Черняева О. Ю. Использование технологии ALD для нанесения Al2O3 на поверхность электрохимически активированого алюминия [Электронный ресурс] // Огарев-online. – 2017. – №16. – Режим доступа: http://journal.mrsu.ru/arts/ispolzovanie-texnologii-ald-dlya-naneseniya-al2o3-na-poverxnost-elektroximicheski-aktivirovanogo-alyuminiya