Опубликовано 31.10.2017 в 13:33
УДК: 547‒022.532
Методом атомно-слоевого осаждения синтезированы наноразмерные пленки LiFePO4. Изучено влияние температуры на эффективность процесса осаждения тонких пленок LiFePO4. Сделан вывод о влиянии температуры на процесс атомно-слоевого осаждения и проведен синтез LiFePO4 в соответствии с оптимальным значением температуры.
THE EFFECT OF TEMPERATURE ON SYNTHESIS OF NANOSIZED LiFePO4 FILMS BY ALD TECHNOLOGY
Nanosized LiFePO4 films have been synthesized by atomic-layer deposition method. The effect of temperature on the efficiency of the deposition of thin LiFePO4 films was studied. A conclusion was drawn on the effect of temperature on the atomic-layer deposition process. The synthesis of LiFePO4 was carried out in accordance with the optimum temperature.
Библиографический список
Библиографический список
1. Maccario M., Croguennec L., Wattiaux A. C-containing LiFePO₄ materials ‒ Part I: Mechano-chemical synthesis and structural characterization // Solid State Ionics. ‒ 2008. ̶ Vol. 179. ̶ pp. 2020‒2026.
2. Liao X. Z., Ma Z. F., He Y. S. Electrochemical Behavior of LiFePO₄∕C Cathode Material for Rechargeable Lithium Batteries // J. Electrochem. Soc. ‒ 2005. ̶ Vol. 152(10). ̶ pp. 1969‒1973.
3. Mi C. H., Ca G. S., Zhao X. B. Low-cost, one-step process for synthesis of carbon-coated LiFePO₄ cathode // Materials Letters. ‒ 2005. – Vol. 59. – pp. 127‒130.
4. Камзин А. С., Бобыль А. В., Ершенко Е. М. Структура и электрохимические характеристики катодных материалов LiFePO4 для перезаряжаемых Li-ионных батарей // Физика твердого тела. ‒ 2013. – Т. 55, вып. 7. – С. 1288‒1297.
5. Iglesia A. La. Estimating the thermodynamic properties of phosphate minerals at high and low temperature from the sum of constituent units // Estudios Geol. ‒ 2009. – Vol. 65. ̶ pp. 109‒119.
6. Schumacher M., Baumann P. K., Seidel T. AVD and ALD as two complementary technology solutions for next generation dielectric and conductive thin-film processing // Chem. Vap. Deposition. ‒ 2006. – Vol. 12. – pp. 99‒108.
7. Майоров Э. Реализация нанотехнологии атомно-слоевого осаждения на оборудовании Beneq: компании от лаборатории к промышленности // Компоненты и технологии. ‒ 2013. – № 10. – С. 48‒53.
8. Морозова А. А. Атомно-слоевое осаждение сверхтонких пленок для наноэлектроники // Наноинженерия. ‒ 2012. – № 10. – С. 3‒6.
Выходные данные статьи: Долганов А. В., Лебедь Е. Г., Лютова Е. Н., Черняева О. Ю., Юрова В. Ю. Влияние температуры процесса синтеза наноразмерных пленок LiFePO4 с использованием ALD-технологии [Электронный ресурс] // Огарев-online. – 2017. – №16. – Режим доступа: https://journal.mrsu.ru/arts/vliyanie-temperatury-processa-sinteza-nanorazmernyx-plenok-lifepo4-s-ispolzovaniem-ald-texnologii