Влияние температуры процесса синтеза наноразмерных пленок LiFePO4 с использованием ALD-технологии

Опубликовано 31.10.2017 в 13:33
УДК: 547‒022.532

Методом атомно-слоевого осаждения синтезированы наноразмерные пленки LiFePO4. Изучено влияние температуры на эффективность процесса осаждения тонких пленок LiFePO4. Сделан вывод о влиянии температуры на процесс атомно-слоевого осаждения и проведен синтез LiFePO4 в соответствии с оптимальным значением температуры.

THE EFFECT OF TEMPERATURE ON SYNTHESIS OF NANOSIZED LiFePO4 FILMS BY ALD TECHNOLOGY

Nanosized LiFePO4 films have been synthesized by atomic-layer deposition method. The effect of temperature on the efficiency of the deposition of thin LiFePO4 films was studied. A conclusion was drawn on the effect of temperature on the atomic-layer deposition process. The synthesis of LiFePO4 was carried out in accordance with the optimum temperature.

Библиографический список
Выходные данные статьи: Долганов А. В., Лебедь Е. Г., Лютова Е. Н., Черняева О. Ю., Юрова В. Ю. Влияние температуры процесса синтеза наноразмерных пленок LiFePO4 с использованием ALD-технологии [Электронный ресурс] // Огарев-online. – 2017. – №16. – Режим доступа: http://journal.mrsu.ru/arts/vliyanie-temperatury-processa-sinteza-nanorazmernyx-plenok-lifepo4-s-ispolzovaniem-ald-texnologii