Влияние шероховатости поверхности на эффективность очистки пластин карбида кремния

Опубликовано 29.10.2016 в 09:56
УДК: 621.79

Представлены результаты исследования влияния параметров шероховатости монокристаллических пластин карбида кремния на эффективность их очистки с помощью химической и мегазвуковой обработки. Показано, что эффективность очистки возрастает с увеличением качества полировки (с уменьшением значений параметров шероховатости).

SURFACE ROUGHNESS EFFECTS ON CLEANING EFFICIENCY OF SILICON CARBIDE WAFERS

The paper presents the study results of the effects of roughness parameters of single crystal silicon carbide wafers on the efficiency of their cleaning by chemical and megasonic processing. It is shown that the cleaning efficiency increases with the increasing of polishing quality, i.e. with the decreasing of roughness parameters.

Библиографический список
Выходные данные статьи: Ивенин С. В., Кирдяшкин Н. Н. Влияние шероховатости поверхности на эффективность очистки пластин карбида кремния [Электронный ресурс] // Огарев-online. – 2016. – №18. – Режим доступа: http://journal.mrsu.ru/arts/vliyanie-sheroxovatosti-poverxnosti-na-effektivnost-ochistki-plastin-karbida-kremniya