Влияние обработки поверхности пластин на скорость термического окисления карбида кремния

Опубликовано 08.05.2015 в 23:18
УДК: 621.382.2.

Исследуется влияние качества обработки поверхности пластин 4H-SiC на скорость термического окисления карбида кремния в атмосфере сухого кислорода. Показано, что на поверхностях пластин с большей шероховатостью при прочих равных условиях образуется более толстая окисная пленка.

THE INFLUENCE OF PLATE SURFACE PROCESSING ON THE SPEED OF SILICON CARBIDE THERMAL OXIDATION

The study focuses on the influence of the processing quality of 4H-SiC plate surfaces on the speed of thermal oxidation of silicon carbide in dry oxygen. The surfaces of plates with a bigger roughness demonstrate thicker oxide film under otherwise equal conditions.

Библиографический список
Выходные данные статьи: Евишев А. В., Ивенин С. В. Влияние обработки поверхности пластин на скорость термического окисления карбида кремния [Электронный ресурс] // Огарев-online. – 2015. – №11. – Режим доступа: http://journal.mrsu.ru/arts/vliyanie-obrabotki-poverxnosti-plastin-na-skorost-termicheskogo-okisleniya-karbida-kremniya